v 測量模式：PSl, USl, VSl, 選配的 Film

v 掃描量程：≤10 mm

v 橫向分辨率：

0.38 um minimum (Sparrow criterion)

0.13 um (with AcuityXR)

v 垂直分辨率：<0.01 nm

v 臺階高度重復性：<0.75%   <0.125% 1 sigma repeatability

v 掃描速度：122 um/sec (with laser reference)

v 樣品反射率范圍：0.05% to 99%

v 樣品尺寸：350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ；249 mm H 自動樣品臺

v 樣品重量：45 kg (77 kg without standard stage)

v XY 品臺：300 mm 自動樣品臺

v Z 軸聚焦：249(350 mm 不帶自動臺)

v 光源：雙LED光源

v 物鏡：

Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

LWD: 1X, 2X, 5X，10X

TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

v 放大器：0.55X，0.75X，1X，1.5X, 2X auto-sensing modules